三靶全自动磁控溅射沉积系统
三靶全自动磁控溅射沉积系统

联 系 人:  邹赫麟

邮      箱:  zouhl@dlut.edu.cn

电      话: 

地      址:  机械学院1号楼132

生产厂家: 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司

型      号:  TRP4500306030208

购买日期: 2017/05/02

参考收费标准
开放机时安排
主要规格和技术参数
主要功能及特色
主要附件及配置