原子层沉积系统
原子层沉积系统
负责人
李斐
存放地址
主校区知顺楼(新校区化工实验楼)5-310()
联系电话
13654267699
仪器编号
20179068
规格
ALDT-150
生产厂家
元于科技(北京)有限公司
型号
ALDT-150
制造国家
中国
分类号
03060303
出厂日期
2017-10-18
购置日期
2017-10-18
入网日期
2024-02-18
主要规格及技术指标

主要功能及特色

主要附件及配置

前驱体输运系统;载气系统;臭氧发生器

暂无关联门禁
暂无收费信息