硅片磨床
硅片磨床

联 系 人:  康仁科

邮      箱:  kangrk@dlut.edu.cn

电      话:  13074133688

地      址:  主校区知方楼（新校区机械学院大楼）U068(070)

生产厂家: 冈本工体机械制造所

型      号:  VG 401MK205080103

购买日期: 2003/11/19

预约
参考收费标准
参照学校共享平台要求
开放机时安排
无
主要规格和技术参数
采用在线厚度测量仪控制向下进给磨削，具有自动和手动两种操作方式，空气轴承单主轴结构，主轴最大转速3000rpm，主轴快速进给150mm/min，主轴进给速度范围1~999μm/min，加工精度0.1μm
主要功能及特色
立式单轴超精密自动磨床，适用于硅片的超精密加工技术研究和小批量生产, 可磨削加工直径4~16英寸（100~400mm）、厚度为1.5mm的单晶硅片
主要附件及配置