1、能量扫描范围：1～4000 eV
2、最佳能量分辨率：≤0.45 eV（XPS），100 meV（UPS）
3、最佳空间分辨率：≤3 μm (X射线光电子成像)
4、最佳灵敏度：1,000,000 cps (Mono XPS, Ag标样3d5/2峰)
5、分析室最佳真空度：优于2×10-10 mbar
6、快速进样室最佳真空度：7×10-9 mbar
7、分析室工作时的真空度：2×10-9 mbar（打开X射线源的情况下）

光电子能谱是研究材料表面和界面电子及原子结构的最重要手段之一， ESCALAB 250Xi型光电子能谱仪是一台多功能、高性能的表面分析仪器，用于研究固体材料表面的元素种类、化学价态以及相对含量，结合离子刻蚀技术可以获得元素及化学态的深度分布信息；通过成像技术可以获得元素及化学态的面分布信息；微聚焦X射线源或电子束可以获得微区表面信息；紫外光电子能谱可用于研究固体样品的价电子和能带结构及功函数。

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