主要规格及技术指标
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离子束: |
主要功能及特色
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用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构。高质量定点TEM样品制备。化学和晶体结构三维形态分析。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积;高分辨扫描电镜功能可对离子束加工试样进行实时观测。 |
主要附件及配置
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EDS 牛津X-Max 80 |