等离子增强系统
等离子增强系统
负责人员
秦福文, 赵双, 李健
存放地址
主校区博物馆B102
联系电话
13052799175
仪器编号
20003141
规格
ESPD-U
生产厂家
沈阳超高真空技术研究
型号
ESPD-U
制造国家
中国
分类号
03060305
出厂日期
2000-12-31
购置日期
2000-12-31
入网日期
2021-03-29
主要规格及技术指标

本底真空度为10e-7Pa；基片温度为100-600℃；放电气压为1Pa左右；微波源功率为300-1000W；可实现氮气、氢气等的低损伤高密度微波等离子体放电，设备上配有金属有机物源三甲基镓、三甲基铟、三甲基铝、三乙基硼等，配有RHEED原位检测设备。

主要功能及特色

Ⅲ族氮化物的低温生长；蓝宝石、硅片等衬底的低温等离子体干法清洗；薄膜表面微结构信息的RHEED检测。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息