大面积反应性等离子体源腔室
大面积反应性等离子体源腔室
负责人员
高飞
存放地址
主校区三束实验室4号楼（出版社楼）115
联系电话
13840892902
仪器编号
21212096
规格
自研
生产厂家
无
型号
自研
制造国家
中国
分类号
03210709
出厂日期
2012-12-17
购置日期
2012-12-17
入网日期
2024-02-18
主要规格及技术指标

1E-3 Pa

主要功能及特色

为产生射频等离子体提供真空环境

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息