主要规格及技术指标
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1.三轴向移动,步进精度50nm,最大移动范围26mm;2.力学分辨率5mN,量程100mN |
主要功能及特色
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1.三轴向移动,步进精度50nm,最大移动范围26mm;2.力学分辨率5mN,量程100mN |
主要附件及配置
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无 |