主要规格及技术指标
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1、扫描器:标准型扫描器 扫描范围XY:20μm,Z:1.5μm;分辨能力:形貌分辨能力XY:0.2nm,Z:0.01nm(可实现原子级分辨); |
主要功能及特色
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1、具备独立的垂直扫描器和水平扫描器; |
主要附件及配置
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动态模式,电流模式,电势模式 |