主要规格及技术指标
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1离子枪两支配有稀土磁铁的潘宁离子枪;2旋转台和冷台;3 C和Cr两个靶材,并可以在高真空下直接切换;4样品空气锁;5数码变焦成像系统;6 电压0-8kV |
主要功能及特色
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氩离子抛光仪,采用离子束轰击样品表面使其表面平整,主要针对硬/软复合材料,表面涂层、焊接材料、多孔材料,脆性材料及材质不均一性材料,可采用离子束切割技术获得真实的平整截面,从而适宜于SEM、EPMA、FIB观察及EDS、WDS、Auger或者EBSD分析。 |
主要附件及配置
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冷台 Cr C靶材 |