主要规格及技术指标
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测量技术 探针式表面轮廓测量技术(接触模式) |
主要功能及特色
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布鲁克Dektak XT探针式表面轮廓仪设计创新,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达5Å,达到了纳米尺度的表面轮廓测量。它广泛应用于微电子器件、半导体、电池、高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。Dektak XT延续了布鲁克在探针式轮廓仪领域的开创性传统,具有单拱形设计、集成的手写笔探查器和64位并行处理架构,确保最佳测量和运行效率 |
主要附件及配置
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无 |