光刻机
光刻机
负责人员
宋金会, 褚健, 曾相喆, 章嘉豪, 张赫哲, 陈宏亮
存放地址
主校区知方楼（新校区机械学院大楼）-1087(1089)
联系电话
18641128009
送样
仪器编号
20193282
规格
MJB4
生产厂家
SUSS MicroTec
型号
MJB4
制造国家
中国
分类号
0508010501
出厂日期
2022-10-31
购置日期
2018-03-07
入网日期
2022-10-31
主要规格及技术指标

1. 多波段光源多次曝光，一次成型。
2,可得从250nm到450nm的连续任意波段进行紫外曝光
3,曝光景深达400um
4. 曝光分辨率：0.4um；
5. 套刻精度：正面0.5um；背面1um
6. 样品尺寸：最大6英寸，
7. 可加工不规则样品

主要功能及特色

对小于1微米的图案进行加工，并且能够大井深加工。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息