金属有机蒸镀设备
金属有机蒸镀设备
负责人员
乔文强
存放地址
主校区知顺楼（新校区化工实验楼）3-116
联系电话
18624111298
送样
仪器编号
20194153
规格
R20
生产厂家
沈阳奇汇真空技术有限公司
型号
R20
制造国家
中国
分类号
0306030106
出厂日期
2021-07-05
购置日期
2019-05-16
入网日期
2021-07-05
主要规格及技术指标

加热温度‌：最高可达320度‌
抽气速率‌：30分钟内达到小于8E-6 Torr，极限真空小于3E-6 Torr‌
膜厚均匀性‌：膜厚均匀性小于等于5%‌
主要功能及特色

用于材料蒸发

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息