位移范围：100mm×100mm×100mm；样品表面结构：Ra＞9nm，Lc=2μm；最大样品高度：100～345mm；最大样品重量：30kg；最佳水平分辨率：0.44μm；最佳垂直分辨率：10nm；最大扫描高度：22.5mm；最大扩展视野范围：10000mm2；最大单一方向扫描范围：100mm；最小测量高度：0.01μm；最大测量高度：22.5mm；最大测量范围：10000mm2；最大测量形貌长度：100mm；最小可重复性：0.001μm；最小测量粗糙度（Ra）：0.03μm；最小测量粗糙度（Sa）：0.015μm；最小测量半径：1μm；最小测量垂直角度：20°。

InfiniteFocus是一款高精度、高速度和高灵活性的光学三维测量系统。系统集三维微型三坐标测量工具和表面粗糙度测量设备为一体。通过使用同轴照明和最佳的LED环型灯，表面测量范围可达几乎无限大。另外，InfiniteFocus所有的坐标轴配备了高精度的编码器保证了平台高精度的移动。用户可实现高分辨率、高重复性和高精度的可追溯源的测量。

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