1灯丝：预对中灯丝 2二次电子分辨率优于：4.0nm@20kV，15nm@1kV 3背散射电子分辨率优于：5.0nm@20kV（低真空） 4加速电压：0.3~20kV连续可调 5放大倍数：6~300000倍（底片倍数） 6探测器：二次电子探测器，高灵敏度五分割半导体背散射探测器：成分像、形貌像和三维像 7低真空范围：6-100Pa，高低真空一键切换，不需更换光阑 8马达台：三轴（X，Y，R）自动马达台，X：0~40mm，Y：0~50mm，Z：5~15mm，R：0~360°，T：-15°~90° 9真空系统：机械泵1台，分子泵1台 10自动功能：自动灯丝饱和度调整，具有高、中、低三个档位，自动电子束对中 11聚光镜光阑完全安装在长内衬管内，用户可自行更换聚光镜光阑 12电子图像位移：＞±50μm（WD=10mm） 13计算机操作系统：Windows 10 Pro 64位 14配有图像管理软件

用于高分辨率微区形貌分析

无