溅射台
溅射台
负责人员
单庆, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械学院2号楼）112
联系电话
0411-84707170-8102
送样
仪器编号
20010521
规格
JS3X-80B
生产厂家
中科院微电子中心
型号
JS3X-80B
制造国家
中国
分类号
03060302
出厂日期
2020-07-21
购置日期
2001-04-30
入网日期
2020-07-21
主要规格及技术指标

样品 规格：最大3英寸
真空室规格：直径520mm 高度：200mm

主要功能及特色

沉积金属薄膜，配置一个射频电源和3个靶源，配有8个样品位置

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息