Parylene真空涂敷系统
Parylene真空涂敷系统
负责人员
张溪, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼(机械学院2号楼)116-1
联系电话
0411-84707713-8103/8112
仪器编号
20181952
规格
PDS2010
生产厂家
美国SCS公司
型号
PDS2010
制造国家
美国
分类号
0306030108
出厂日期
2020-07-24
购置日期
2018-03-06
入网日期
2020-07-24
主要规格及技术指标

真空腔室尺寸为12英寸

主要功能及特色

沉积Parylene材料

主要附件及配置

暂无关联门禁
注:C原料≥10克时,收取超出部分费用。 标准定价为一个工作日设备开放时间内可完成的普通标准工艺,若因沉积薄膜较厚,导致设备工作时间延长至超过当天开放时间,则价格另议。 若有特殊、复杂工艺,或遇到特殊情况,考虑到成本等影响因素,则价格另议。 若工艺成本增加,则价格可能要有适当浮动。