刻蚀机
刻蚀机
负责人员
张溪, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械学院2号楼）114
联系电话
0411-84707713-8103/8112
送样
仪器编号
20010812
规格
ICP-2
生产厂家
中科院微电子中心
型号
ICP-2
制造国家
中国
分类号
06010119
出厂日期
2020-07-24
购置日期
2001-04-30
入网日期
2020-07-24
主要规格及技术指标

样片直径小于5英寸

主要功能及特色

硅刻蚀

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息