主要规格及技术指标
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样品尺寸小于等于6英寸,极限真空1.0*10-3Pa,可蒸镀铝,铜等薄膜,厚度小于等于500nm |
主要功能及特色
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可真空蒸镀铝和铜等薄膜,样品尺寸小于等于6英寸,薄膜厚度小于等于500nm |
主要附件及配置
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无 |