氧化炉
氧化炉
负责人员
孙盼, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械学院2号楼）115-1
联系电话
15140485470
送样
仪器编号
20911998
规格
L4514
生产厂家
青岛赛瑞达设备制造公司
型号
L4514
制造国家
中国
分类号
03031248
出厂日期
2020-07-29
购置日期
2009-10-21
入网日期
2020-07-29
主要规格及技术指标

可进行硅样品表面的高温热氧化工艺，氧化膜厚度500nm-2.7um

主要功能及特色

可进行硅样品表面的高温热氧化工艺，氧化膜厚度500nm-2.7um

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
标准定价为普通标准工艺；若有特殊、复杂工艺，考虑到成品率等影响因素，则价格另议。 若工艺成本增加，则价格可能要有适当浮动。