主要规格及技术指标
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横向分辨率:0.34μm |
主要功能及特色
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美国ZYGO公司NewView9000型3D表面形貌仪,采用白光干涉的原理对高精度的工作表面进行三维几何形貌检测。采用气浮式工作台,可定性及定量地测量表面的粗糙度、波纹度、平整度、台阶高度等,具有拼接及微观几何形状误差分析功能。 |
主要附件及配置
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物镜:2.5倍,10倍,50倍 |