3D表面光学轮廓仪-白光干涉仪-zygo-粗糙度-台阶高度-微观尺寸
3D表面光学轮廓仪-白光干涉仪-zygo-粗糙度-台阶高度-微观尺寸
负责人员
司立坤, 金雅明, 张丝雨
存放地址
主校区知方楼（新校区机械学院大楼）主校区知方楼（新校区机械学院大楼）U059(061)
联系电话
18740280260
预约 送样
仪器编号
2020AA7B
规格
NewView9000
生产厂家
ZYGO Corporation
型号
NewView9000
制造国家
美国
分类号
0305122801
出厂日期
2020-12-09
购置日期
2020-12-09
入网日期
2020-12-09
主要规格及技术指标

横向分辨率：0.34μm

RMS的重复分辨率：0.008nm

最大扫描深度：150μm(精密压电驱动)

最大测定高 ：89mm

主要功能及特色

美国ZYGO公司NewView9000型3D表面形貌仪，采用白光干涉的原理对高精度的工作表面进行三维几何形貌检测。采用气浮式工作台，可定性及定量地测量表面的粗糙度、波纹度、平整度、台阶高度等，具有拼接及微观几何形状误差分析功能。
功能有：
1、粗糙度（纳米、微米级）
2、波纹度
3、台阶高度（纳米、微米级）
4、150*150mm平面面型
5、微结构深度、宽度、形貌

主要附件及配置

物镜：2.5倍，10倍，50倍
知方楼U059（U061）
粗糙度实验：200元/小时（院内） 300 元/小时（校内）