3D表面光学轮廓仪
3D表面光学轮廓仪
负责人员
司立坤, 张丝雨
存放地址
主校区知方楼(新校区机械学院大楼)主校区知方楼(新校区机械学院大楼)U059(061)
联系电话
18740280260
仪器编号
2020AA7B
规格
NewView9000
生产厂家
ZYGO Corporation
型号
NewView9000
制造国家
美国
分类号
0305122801
出厂日期
2020-12-09
购置日期
2020-12-09
入网日期
2020-12-09
主要规格及技术指标

横向分辨率:0.34μm

RMS的重复分辨率:0.008nm

最大扫描深度:150μm(精密压电驱动)

最大测定高 :89mm

主要功能及特色

美国ZYGO公司NewView9000型3D表面形貌仪,采用白光干涉的原理对高精度的工作表面进行三维几何形貌检测。采用气浮式工作台,可定性及定量地测量表面的粗糙度、波纹度、平整度、台阶高度等,具有拼接及微观几何形状误差分析功能。

主要附件及配置

物镜:2.5倍,10倍,50倍

知方楼U059(U061)
暂无收费信息