主要规格及技术指标
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镀膜厚度:1-100nm 可调;石英膜厚检测器精度:0.1nm; |
主要功能及特色
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高真空镀膜仪配备溅射镀金属和蒸发镀碳两种功能,搭配冷冻断裂样品台,实现低温镀膜及真空传输功能。 |
主要附件及配置
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无 |