激光溅射与离子束辅助镀膜系统
激光溅射与离子束辅助镀膜系统
负责人员
马春雨, 刘鹏辉, 李嘉蕊
存放地址
主校区厚望楼（机械学院2号楼）B102
联系电话
15998586491
仪器编号
20912189
规格
PLD450b
生产厂家
沈阳科学仪器研制中心
型号
PLD450b
制造国家
中国
分类号
03060302
出厂日期
2009-10-26
购置日期
2009-10-26
入网日期
2021-03-31
主要规格及技术指标

真空系统：机械泵+分子泵，背底真空度1×10-5Pa，基片温度：室温–800℃，差分式高能电子衍射仪：最高能量25Kv，最大束流100A。

主要功能及特色

适用于多组元化合物沉积，高质量纳米薄膜、生长取向一致的织构膜和外延单晶膜，多层膜及超晶格。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息