XYZ三方向最大扫描尺寸：90um x 90um x 10um；XY方向闭环噪音水平：≤0.15nm RMS值；Z方向闭环噪音水平：≤0.035nm RMS值；自动样品台尺寸：不小于210mm直径，高度不小于15mm；

应用于半导体材料、生物材料、高分子材料等研究领域。可以对各类薄膜样品，如半导体材料、光电材料、磁性材料的表面平整度及表面拓扑结构表征；可以对高分子材料、有机材料、橡胶等进行表面力学特性，如杨氏模量、粘滞力、耗损进行定性定量分析；可以对生物样品，如细胞、蛋白质、组织等样品进行快速扫描，检测生命体的反应过程。

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