光刻机
光刻机
负责人员
曹暾
存放地址
主校区研究生教育大楼802
联系电话
15632490425
仪器编号
20219B11
规格
MJB4
生产厂家
Suss MicroTec
型号
MJB4
制造国家
德国
分类号
0508010501
出厂日期
2021-09-01
购置日期
2021-09-01
入网日期
2021-11-17
主要规格及技术指标

曝光波长350-450nm、分辨率优于0.8um。套刻精度可达0.5m

主要功能及特色

用于微纳米电子元器件加工工艺中高精度的光刻与套刻

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息