1. 工作模式：接触模式（AFM）
2. 扫描器：XY轴扫描器范围20μm×20μm；Z轴扫描范围1.5μm；
3. 工作空间：样品大小不超过3cm×3cm×0.8cm（长×宽×高）。

1. 对样品表面进行三维形貌成像；
2. 测量样品膜厚、台阶高度。

一、硬件配置
扫描器与驱动系统
XY扫描电压：±200V/18bit，支持闭环控制，线性度＜1%，分辨率达10nm（闭环）或1nm（开环）。
Z轴扫描电压：±200V/26bit，噪声反馈低至0.2nm，适用于高精度形貌测量46。
扫描模式：支持长方形比例扫描（1:1至1024:1），适应不同尺寸样品的需求6。
样品台与兼容性
磁吸式样品夹具，最大横向尺寸20mm，高度5mm。
兼容机型包括AFM5100N和AFM5300E，支持与SEM等设备联用（需选配共享坐标样品台）49。
二、软件与分析工具
3D覆盖与成像功能
可将样品形貌与物理特性（如电场、相位）叠加显示，生成3D图像，便于多维度分析56。
分析模块
内置凹凸分析、剖面轮廓分析、平均剖面分析等功能，支持粗糙度量化及结构特征提取。