采用大功率弧电源，最大电流200A，功率4KW
极限真空度：2.0×10-3Pa/台（生成室、空炉、冷态）
漏气率：从极限真空到1Pa≤0.5小时/台（生成室、空炉、冷态）
工作周期：从大气抽到6.7×10-3Pa≤40mn/台（生成室、空炉、冷态）
冷却水温25℃

纳米粉体连续自动化制备系统由纳米粉设备生成室系统和纳米粉设备真空智控操作系统组成。真空智控操作系统主要是控制电压电流等设备运行开关。控制系统采用两种形式：一种固定式，另一种移动式。将开关、抽真空机组等部分设为固定式，电极调整采用遥控式，每个生成室一套。并配有中真空计一台。

监测系统（压力传感器、真空监控软件和显示器等）