X, Y方向扫描范围 120μm； X, Y 轴闭环噪音 <0.6nm (Adev, 0.1-1kHz)

1. 对表面进行三维形貌成像（轻敲模式、接触模式）；
2. 测量样品表面电学性质（扫描开尔文显微镜）；
3. 表征材料表面的电畴分布，主要用于对压电/铁电样品进行研究纳米加工（PFM压电力显微镜）；
4. 表征样品表面的磁畴分布，主要用于对磁性样品的研究（磁场力显微镜）。

无