电子束直写系统
电子束直写系统
负责人员
宋金会, 陈路华, 曾相喆, 章嘉豪, 张赫哲, 陈宏亮
存放地址
主校区知方楼(新校区机械学院大楼)1081(1085)
联系电话
15542630930
仪器编号
20227635
规格
JSM-7900F
生产厂家
日本电子株式会社
型号
JSM-7900F
制造国家
中国
分类号
05080144
出厂日期
2023-02-28
购置日期
2021-05-21
入网日期
2023-02-28
主要规格及技术指标

关键参数:
1、分辨率
1.1 nm(0.5 kV)
0.7 nm (1 kV)
0.7 nm(15 kV)
2、倍率
X25~ X1.000,000

主要功能及特色

该设备主要用于研究材料的微观形貌,具有极高的空间分辨率和高稳定性

主要附件及配置

暂无关联门禁
暂无收费信息