主要规格及技术指标
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深度分辨率优于20 nm,测量行程范围大于5 cm×5 cm,横向重复位置精度优于10μm/100mm |
主要功能及特色
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测量三维表面轮廓以及表面粗糙度 |
主要附件及配置
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无 |