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                             主要规格及技术指标 
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                             深度分辨率优于20 nm,测量行程范围大于5 cm×5 cm,横向重复位置精度优于10μm/100mm  | 
                    
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                             主要功能及特色 
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                             测量三维表面轮廓以及表面粗糙度  | 
                    
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                             主要附件及配置 
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                             无  |