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                             主要规格及技术指标 
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                             最高电压±3kV,最小电压测量分辨率≤0.2mV,电流测量分辨率≤10fA,频率范围1kHz-5MHz  | 
                    
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                             主要功能及特色 
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                             测量pA 以下到 10 kV/1500 A 功率器件,最高电压±3kV,最小电压测量分辨率≤0.2mV,电流测量分辨率≤10fA,频率范围1kHz-5MHz  | 
                    
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                             主要附件及配置 
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                             测试箱,探针。  |