1. 电动扫描台：最大移动速度25 mm/s，分辨率0.1 μm；

2. 激光器组成：配有半导体激光器，405 nm激光器，光纤端输出

功率5 mw；

3. 扫描检测系统：最高6144×6144，可连续调节。最大扫描分辨
率3700万像素。

1. 获取材料2D光学图像、高分辨表面3D形貌；

2. 高度测量，体积测量，表面积测量，粗糙度分析等；

3. 金属材料，高分子材料，电子半导体，微纳加工结构等。

1. 电动扫描台：最大移动速度25 mm/s，分辨率0.1 μm；

2. 激光器组成：配有半导体激光器，405 nm激光器，光纤端输出

功率5 mw；

3. 扫描检测系统：最高6144×6144，可连续调节。最大扫描分辨
率3700万像素。