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                             主要规格及技术指标 
                             | 
                        
                             无  | 
                    
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                             主要功能及特色 
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                             1、半导体器件、功能薄膜、块体材料电学性能测试(包括I-V、I-t、I-Vg等)  | 
                    
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                             主要附件及配置 
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                             无  |