1. 整机功率为4.5 kW，波长1064 nm，激光光束质量M2<1.3，脉冲宽度＜20 ps，最大脉冲能量＞170 μJ（200 kHz）
2. 光斑直径约20 μm，光斑圆度≥85%，加工精度0.05 μm

可对绝大多数金属或非金属材料进行微加工，对材料不产生机械挤压或机械应力，无“刀具”磨损、无毒、无环境污染；能在大气中或保护气氛中进行加工；不产生 X 射线，不会受电场和磁场的干扰。可穿过透光物质对其内部零部进行加工；材料的消耗很小；无热变形；可通过棱镜或反射镜对内表面或倾斜面上进行加工。

无