1.温度范围：室温
2.磁场感应强度：0.6T
3.电阻率范围：10- 6 -107Ω•cm
4.霍尔系数范围：10-3-109cm3/C
5.迁移率范围：1-107cm2/(V•s)
6.载流子浓度范围：107-1021/cm3
7.样品尺寸：边长或直径：10mm-20mm；厚度：10nm-1mm

HET-3RT依据范德堡法则，测量材料的电运输性能、主要参数，如载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等，薄膜或薄层材料均可测量，可应用于所有半导体材料，包括Si、ZnO、SiGe、SiC，GaAs，InGaAs，InP，GaN（N型&P型均可测量）。

1.主机
2.数据显示操作平台
3.专业控制软件
4.装样样品卡