1. 控制系统：
1.1：操作软件: 操作导航,RealTune II自动判定测量参数，探针评价软件。
1.2：分析软件:三维图像显示;线粗糙度分析;表面粗糙度分析;剖面分析等。
1.3：数据采集; 4通道（最大2048 × 2048）;2通道（最大4096 × 4096）.
1.4: 扫描旋转 ±180o （0.1o step）
1.5: Recipe功能：扫描范围内最多选取100个点进行自动测量，并同时进行图像处理，图像分析，图像保存功能；
2. 主机
2.1：样品最大尺寸为：35mm×10mm (H),；
2.2：手动螺杆移动样品台，XY最大范围±2.5mm)，Z轴步进马达（步进50nm），范围10mm；
2.3：SLD低相干激光器，波长830nm，功率600µW及配套适配器；
3. 扫描器
标准型20微米(XY:20um Z:1.5um)扫描器，5年保修
4. 辅助功能单元
4.1 桌面式防震台，外观尺寸435*535*64.4，重量16.5公斤，最大承重80公斤
4.2 光学显微镜：视野范围1.6mm×1.2mm。

原子力显微镜（Atomic Force Microscope，简称AFM）利用微悬臂感受和放大悬臂上尖细探针与受测样品原子之间的作用力，从而达到检测的目的，具有原子级的分辨率，可应用纳米材料3D形貌观察、粗糙度分析、物性评估等领域。原子力显微镜在物理学中，如凝聚态物理、功能材料物理及材料表面改性、微纳结构等领域已经得到了充分的应用和发展，是物理学研究中强有力的工具。

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