主要规格及技术指标
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样品微观表面粗糙度分析。1-50倍放大;遥控操作电动平台;纵向扫描范围≤20mm;表面形貌重复性<3.5nm;RMS重复性 0.1nm;横向光学分辨率 0.52μm(50倍物镜) |
主要功能及特色
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样品微观表面粗糙度分析。1-50倍放大;遥控操作电动平台;纵向扫描范围≤20mm;表面形貌重复性<3.5nm;RMS重复性 0.1nm;横向光学分辨率 0.52μm(50倍物镜) |
主要附件及配置
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无 |