超声频率20~250MHz,XY 轴最小C扫描范围1 um×1um；XY 轴最大C 扫描范围≥320mm×320mm；能实现多层结构微小缺陷的检测（裂纹、分层、孔隙等）以及涂层进行高精度表征，设备具有超高穿透能力、高分辨率动态透射扫描等功能，可以得到最为准确的检测结果

超声扫描显微镜是一款用于质量及工艺控制、科研方面的专业无损检测设备， 可作为扫描电镜和
X 射线检测互补的检测手段。近年来， 随着超声扫描显微镜的应用日益广泛，针对各类型检测对
象，设备功能和检测技术都进行了一系列的扩展与提升， 能实现多层结构微小缺陷的检测（裂纹、
分层、 孔隙等） 以及涂层进行高精度表征，设备具有超高穿透能力、 高分辨率动态透射扫描等功
能， 可以得到最为准确的检测结果。

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