手套箱联合电子束蒸发复合系统
手套箱联合电子束蒸发复合系统
负责人员
骆英民, 王昊天, 杨帅
存放地址
开发区校区信息楼开发区校区信息楼109
联系电话
18641139183
仪器编号
20229CB6
规格
DZS500
生产厂家
中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
型号
DZS500
制造国家
中国
分类号
0306030108
出厂日期
2022-11-04
购置日期
2022-11-04
入网日期
2024-02-18
主要规格及技术指标

1、系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转水冷基片台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等组成。
2、蒸发室极限真空度:≤4x10-5Pa(经烘烤除气后);系统从大气(充入干燥氮气)开始抽气:蒸发室40分钟可达到5x10-4 Pa;系统在抽气到极限真空后停泵关机12小时后真空度:≤5Pa。
3、;
4、270°E型电子枪及高压电源,电子枪功率0—8KW可调,电子束可二维扫描调节,四穴坩埚,具有坩埚挡板,具有高压灭弧自动复位功能。
4、具有电阻蒸发复合功能。电阻蒸发,蒸发电源电压6V,电流300A,最大输出功率1.8Kw,电流控制精度0.1A。
5、可制备4英寸圆形样品,样品可旋转,可冷却,蒸发距离可调节。
6、分子泵脂润滑准无油系统。
7、可与双工位手套箱实现互联,保证无水无氧环境。
8、手套箱(1.8米双工位):水氧指标:小于1 ppm;泄露率:小于0.001vol%/h;有大小两个过渡箱。

主要功能及特色

通过电子束真空蒸镀的方法进行新型微电子器件金属电极的制备。

主要附件及配置

系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转水冷基片台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等组成,并与双工位手套箱互联。

暂无关联门禁
暂无收费信息