主要规格及技术指标
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1、系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转水冷基片台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等组成。 |
主要功能及特色
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通过电子束真空蒸镀的方法进行新型微电子器件金属电极的制备。 |
主要附件及配置
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系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转水冷基片台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等组成,并与双工位手套箱互联。 |