无掩模直写光刻机
无掩模直写光刻机
负责人员
王译, 冯莹
存放地址
主校区-厚坤楼（机械1号楼）-111（113）
联系电话
13582967338
仪器编号
20231909
规格
ATS-07-UV litho
生产厂家
赫智科技（苏州）有限公司
型号
ATS-07-UV litho
制造国家
中国
分类号
0508010401
出厂日期
2021-04-27
购置日期
2021-04-27
入网日期
2024-02-18
主要规格及技术指标

曝光波长：380 nm，物镜：5X/20X/50X，曝光最小线宽可达1微米，运动台精度1微米，套刻对准精度：100nm。

主要功能及特色

可利用正/负性光刻胶用曝光任意图形

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息