1.最大样品尺寸：230 mm×230 mm×15 mm
2.最大直写面积：195mm×195mm
3.光源波长：385nm
4.直写分辨率：0.4μm,0.6μm,1μm,2μm,5μm
5.直写速度：20mm2/min@0.6μm，50mm2/min@1μm，100mm2/min@2μm，180mm2/min@5μm
6.对准显微镜物镜放大倍数：×3,×5,×10,×20
7.套刻精度：±0.5μm
8.最小栅格精度：100nm
9.样品台最小步进距离：50nm

无掩膜光刻

光刻机主机，电脑，光学平台