自由度:3运动行程: 20x20x20mm (XYZ) 开环定位分辨率: 1nm 闭环定位分辨率: 5nm 力测量范围:+/- 100mN 力测量分辨率：0.25uN

一、两个力反馈纳米机械手
1.1、功能：这对力反馈纳米机械手结合了纳米级定位分辨率和微牛级力传感反馈。它适合处理因操作力过大而导致操作对象变形或损坏。每个机械手可配置在垂直或水平方向上的力反馈。
二、六自由度样品台
2.1、功能：六自由度样品台采用并联运动机构设计原理，可精确定位样品至纳米级。它适合在电学和机械表征过程中将一维纳米材料（如纳米线、纳米管）与末端效应器对准。

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