测量范围：Z方向一般为几十微米到几十毫米。分辨率：横向分辨率几十纳米到几百纳米，纵向分辨率可达纳米级。测量精度：能满足纳米到毫米量级的测量需求。扫描速度：一般可达数毫米/秒。重复性：测量结果可靠，重复性好。

形貌测量：测量表面粗糙度、台阶高度等微观形貌。尺寸测量：测量长度、宽度、深度等尺寸参数。质量检测：用于产品质量控制，优化生产流程。建模与分析：构建三维模型，支持相关分析。材料研究：研究材料表面结构和特性。自动化测量：具备自动对焦、自动变倍等功能。复合式测量：可配备接触式探针等，实现多种测量方式。

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