测量系统/XM60/±0.5ppm

线性定位:
测量精度:±0.5ppm:
测量范围:0m至8m;轴向量程:0m至8m
分辨率:1nm。
直线度:
测量范围:士50μm时:精度士0.01A±1.0μm;
测量范围:士250um时:精度士0.01A±1.5um;
分辨率0.25um。轴向量程:0m至6m角度(俯仰 Pitch/扭摆 Yaw):
测量精度±0.004A/±(0.5 微弧度+0.11M 微弧度);测量范围:士500微弧度:轴向量程:0m至8m
分辨率:0.03 微弧度
滚摆:
轴向量程 0-4m时测量精度:土0.01A6.3微弧度;轴向量程 4-6m时测量精度:士0.01A士10.0微弧度测量范围:士500 微弧度:分辨率:0.12微弧度。

无