光刻机
光刻机
负责人员
尹鹏和, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼(机械2号楼)主校区厚望楼(光仪学院)117-1
联系电话
15841166916
仪器编号
20240759
规格
MA6 Gen4
生产厂家
SUSS Micro Solution GmbH & Co.KG
型号
MA6 Gen4
制造国家
中国
分类号
0508010501
出厂日期
2024-05-08
购置日期
2024-03-18
入网日期
2024-05-08
主要规格及技术指标

分辨率:≤0.6um,正面套刻精度:≤ ±0.5um,反面套刻精度:≤ ±1.0um,最大晶圆尺寸:6英寸。

主要功能及特色

本设备可对I线(365nm波长)光刻胶进行曝光,将掩膜版图案复制到光刻胶膜上。提供正、反双面对准功能,实现多层结构的高精度制造。该设备处理的样片,可为后续的刻蚀、薄膜沉积、划痕制备等工艺提供掩蔽层和加工参考线。

主要附件及配置

暂无关联门禁
实验项目 收费单位 学部、学院内 校内 社会服务 光刻SU-8 元/片 234 234 351 光刻 元/片 65 65 98 甩SU-8胶 元/片 104 104 156 甩其它胶 元/片 13 13 20 去BN胶 元/片 33 33 50 去SU-8胶 元/片 130 130 195 光刻(无耗材) 元/片 40 40 60 标准定价为普通标准工艺;若有特殊、复杂工艺,考虑到成品率等影响因素,则价格另议。 若工艺成本增加,则价格可能要有适当浮动。