光刻机
光刻机
负责人员
尹鹏和, 王天娆
存放地址
主校区厚望楼（机械2号楼）主校区厚望楼（光仪学院）117-1
联系电话
15841166916
送样
仪器编号
20240759
规格
MA6 Gen4
生产厂家
SUSS Micro Solution GmbH & Co.KG
型号
MA6 Gen4
制造国家
中国
分类号
0508010501
出厂日期
2024-05-08
购置日期
2024-03-18
入网日期
2024-05-08
主要规格及技术指标

分辨率：≤0.6um，正面套刻精度：≤ ±0.5um，反面套刻精度：≤ ±1.0um，最大晶圆尺寸：6英寸。

主要功能及特色

本设备可对I线（365nm波长）光刻胶进行曝光，将掩膜版图案复制到光刻胶膜上。提供正、反双面对准功能，实现多层结构的高精度制造。该设备处理的样片，可为后续的刻蚀、薄膜沉积、划痕制备等工艺提供掩蔽层和加工参考线。

主要附件及配置

无
暂无关联门禁
暂无收费信息