大气压等离子体源平台
大气压等离子体源平台
负责人员
杨德正
存放地址
主校区-三束实验室4号楼（出版社楼）-404
联系电话
13322214836
仪器编号
2023A827
规格
XY-APS-1
生产厂家
大连翔羽真空技术有限公司
型号
XY-APS-1
制造国家
中国
分类号
0306189902
出厂日期
2024-05-14
购置日期
2023-12-06
入网日期
2024-05-14
主要规格及技术指标

腔体材料：不锈钢、石英玻璃
工作真空度：10^-1 Pa
工作温度：-20℃-- +200℃
频率范围：射频、微波等
适用设备：等离子体电源、激光器等

主要功能及特色

1. 材料表面改性
2. 薄膜沉积
3. 等离子体特性参数诊断

主要附件及配置

真空计、真空泵、压力计
暂无关联门禁
暂无收费信息