仪器组成单元有OFV 534激光单位，VDD-E-600测振前端，DMS数据处理系统，M Plan Apo 10*/0.28 f=200 聚焦显微镜。
技术指标：测量最大速度810mm/s,频率范围0-2M，位移分辨率2pm

主要功能：测试微纳器件的振动频率，振幅，加速度，波形等参数。特色：体积小，应用灵活，可快速测量微纳器件的振动参数。有光学放大镜筒可准确定位微纳结构，可视化操作，操作简易。

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