芯片划片剥离机
芯片划片剥离机
负责人员
柳阳
存放地址
开发区信息楼-112
联系电话
13889502485
仪器编号
20238845
规格
FM-UVPM-10
生产厂家
上海费米激光科技有限公司
型号
FM-UVPM-10
制造国家
中国
分类号
05080918
出厂日期
2024-05-14
购置日期
2023-07-06
入网日期
2024-05-14
主要规格及技术指标

光源355nm,皮秒激光10ps,最小线宽(孔径)4微米,加工幅面500*400mm.

主要功能及特色

半导体薄膜及衬底打孔加工,加工幅面500*400mm。

主要附件及配置

冷却水,气泵。

暂无关联门禁
暂无收费信息