量程 260 mm（长） x 160(宽) x 75 mm（高度）
最大倾斜角度：+45° / -90°
精确度（入射角≤1°）
抛光 ±120nm
Ra < 1 µm ±300nm
1 µm ≤ Ra≤ 3 µm ±1.2μm
纵向分辨率 <0.05 nm
最大承重9kg

该仪器可针对平面、方程曲面、自由曲面进行高精度的面型精度检测。方程曲面包括但不局限于以下面型：离轴抛物面、柱面、局部对称面等。该系统基于已获专利的多波长干涉测量技术的传感器实现非接触无损检测，可以在大工作区域的不同表面上进行绝对位置测量，测量精度达到纳米级别。

无