主要规格及技术指标
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力值范围:1 μN~10 N(分辨率0.1 μN)。位移精度:1 nm(闭环控制)。运动自由度:XYZ三轴(±50 mm行程,±0.5 μm定位)。温度控制:-40°C~300°C(可选)。显微观测:集成光学/电子显微镜(500X放大) |
主要功能及特色
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微力测试:测量MEMS器件、纤维、生物细胞的力学性能(如弹性模量)。精密组装:纳米线/芯片的抓取-对准-键合(精度±1 μm)。动态疲劳测试:高频循环加载(≤100 Hz),评估微结构耐久性。环境模拟:真空/湿热条件下力学行为分析 |
主要附件及配置
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无 |